10.3969/j.issn.1004-3365.2000.04.002
Si1-xGex/Si多层异质外延结构的研究
对制作的Si1-xGex/Si多层异质外延结构进行了研究.并对其做了反射高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)和扩展电阻(SR)等测量,给出了利用这种结构研制出的异质结双极晶体管(HBT)的输出特性曲线.
Si1-xGex/Si、异质外延、异质结双极晶体管、分子束外延
30
TN304.2(半导体技术)
2004-02-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
217-220