10.3969/j.issn.1004-3365.1999.05.010
硅微机械陀螺接口检测技术的研究
研究了微陀螺的电容变化率为10-7～10-8时的微弱输出信号的检测技术,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点.在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上,进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术,以及抑制由开关电荷注入引起的误差的技术.这些全新的技术思路和措施可望达到检测10-7～10-8的电容变化率的目的.
微机械器件、硅微加速度计、微陀螺、微弱信号检测、相关双采样技术
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V241.5(航空仪表、航空设备、飞行控制与导航)
2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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