10.7688/j.issn.1000-1646.2016.01.13
基于局部扫描的实时反馈纳米操作系统
由于压电陶瓷机构的非线性及系统温度漂移等因素使AFM探针难以精确定位到被操作物体,从而导致跳针或滑落现象,阻碍了AFM纳米操作的发展.为了解决该问题,提出了基于局部扫描的实时反馈纳米操作系统.系统以样品表面的纳米颗粒作为路标并对其进行持续观测,解决了系统温漂引起的探针定位误差问题,提高了探针的定位精度;在纳米操作过程中采用局部扫描策略,通过对操作后的结果进行快速扫描,实现了实时反馈纳米操作系统.实验结果验证了该纳米操作实时反馈系统在大温漂条件下操作的有效性.
局部扫描、温漂补偿、纳米操作、实时反馈、原子力显微镜、路标观测、快速扫描、有效性
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TN16(真空电子技术)
国家自然科学基金青年基金资助项目61305125;中国博士后科学基金资助项目2013M530955,2014T70265
2016-07-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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