10.3969/j.issn.2095-5456.2012.06.005
化学刻蚀硅制备太阳能电池减反射结构的研究进展
硅基太阳能电池的关键技术之一是在硅表面制备高效减反射结构,化学刻蚀法是制备减反射结构的最常用方法,其研究热点为贵金属辅助化学刻蚀技术,综述了化学刻蚀硅制备太阳能电池减反射结构的主要方法、刻蚀机理、工艺特征及应用等的研究进展,重点介绍了贵金属辅助化学刻蚀技术的最新研究成果.
太阳能电池、减反射结构、硅、化学刻蚀
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TM914.41
国家自然科学基金资助项目51171118;沈阳市科技基金资助项目F10-205-1-60
2013-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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