10.3969/j.issn.1008-9225.2004.06.009
阴极电弧离子镀沉积过程的计算机模拟研究
在近似计算的基础上,对圆柱形真空镀膜室内偏压电场分布进行模拟,描绘了阴极电弧源粒子的蒸发和运动形态,设计了对称的粒子接收屏,讨论了不同带电粒子的相对接收比例,揭示了成分离析效应的影响因素.
阴极电弧离子镀、离子沉积、计算机模拟
16
TQ153
2005-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
32-35
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10.3969/j.issn.1008-9225.2004.06.009
阴极电弧离子镀、离子沉积、计算机模拟
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TQ153
2005-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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