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10.3969/j.issn.1004-9398.2001.04.005

金刚石膜和氢化非晶碳膜电阻率测量的对比研究

引用
对金刚石膜和氢化非晶碳膜的电阻率测试方法进行了对比研究.即对金刚石膜采用“大“尺度电极,氢化非晶碳膜采用“大“尺度电极和小尺度电极测量I-V曲线进行对比分析和讨论,得出了有意义的结果.

金刚石膜、氢化非晶碳膜、电极、电阻率、金属-半导体-金属结构

22

O484.42(固体物理学)

北京市自然科学基金2982011

2004-01-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

20-22,30

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首都师范大学学报(自然科学版)

1004-9398

11-3189/N

22

2001,22(4)

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