10.3969/j.issn.1006-0707.2012.08.037
光学薄膜的研究新进展及应用
随着科学技术的进步,光学薄膜及相关技术不论从广度还是深度来看都得到了显著发展,并逐渐渗透到现代技术和高端技术等领域。对光学薄膜的3种制备技术：物理气相学沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）和化学液相沉积（CLD）进行了分析。综述了几种新型光学薄膜（金刚石薄膜及类金刚石薄膜、软X射线多层膜、太阳能选择性吸收膜、高强度激光膜）的研究进展以及光学薄膜的应用情况。
光学薄膜、制备技术、气相沉积、液相沉积
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O484.4(固体物理学)
2012-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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