大量程光谱共焦位移传感器设计及性能评估
现有的光谱共焦色散物镜存在测量量程小的问题，在工业检测中的应用受到较大的限制。针对这一问题，采用四片球面透镜设计了一种大量程的色散物镜，在500～700 nm波段内，测量量程达到9.962 mm。在大色差的情况下对球差进行了优化，并利用设计的色散物镜搭建了光谱共焦位移测量系统，开展了性能评估实验。实验结果表明，系统实现了10 mm的测量范围，测量标准差为0.5 μm，平均绝对误差为0.6 μm。另外，对不同材料的样品进行了测量，结果表明，系统对不同材料样品具有一定的适应性。该设计实现了较大的测量范围，可以满足各类复杂对象的工业检测需求。
测量、无损检测、位移传感器、光谱共焦、色散、measurement、nondestructive inspection、displacement sensor、chromatic confocal、dispersion
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TP212.1;TH741;O439
2022-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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