用于车载激光雷达导电滤光膜的研究
为了使车载激光雷达视窗在大角度下具有高透过率并且具有除霜防雾的功能，研制了近红外导电滤光膜。选择SiHx与SiO2作为高、低折射率材料，调节氢气流量，改变SiHx的折射率及消光系数，使得SiHx可吸收可见光，同时在红外波段的吸收率较低，最终薄膜外观呈黑色。利用软件Macleod与Optilayer设计并优化膜系，使薄膜在(905±30)nm波段增透，同时减低了大角度入射时的光谱偏移量。在滤光膜最外层加镀了一层氧化铟锡(ITO)薄膜，通过调整工艺参数，在不影响光谱性能的前提下降低了方块电阻值。经测试，所制备的导电滤光膜在入射角为0°时的平均透过率为92.58%，入射角为30°时的透过率为91.9%，方块电阻值达到24 Ω/square，适用于车载激光雷达视窗。
薄膜、光学薄膜、氧化铟锡、方块电阻、磁控溅射、thin films、optical film、indium tin oxide、square resistance、magnetron sputtering
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O433.4;TN305.8;TN256
2022-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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