10.3969/j.issn.1674-8530.2007.04.017
基于MEMS的压电泵及其研究进展
基于MEMS的压电泵是集驱动部件、工作部件和控制部件于一体的便于集成的微型泵,它采用压电晶体作为其驱动部件材料.根据其工作原理和结构的差异,压电泵主要分为压电薄膜泵和压电超声泵.介绍了压电泵的单腔体结构和多腔体结构,而多腔体结构的压电泵是今后研究的一个主要方向.由于压电泵具有尺寸小、结构简单、响应快等优点,在许多需要微流量控制的场合中具有广阔的应用前景.重点总结了压电泵国内外的最新研究现状,展望了压电泵的主要发展方向,提出了压电泵研究的主要问题,对压电泵的研究具有指导意义.
压电泵、微电子机械系统、压电振子、单腔体、多腔体、压电晶体
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TH38(泵)
江苏省高校自然科学基金04KJB470026
2007-10-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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