10.14132/j.cnki.1673-5439.2021.06.003
PDMS基光子器件的耦合光栅与波导研究
基于柔性材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)的优异特性,面向紫外和可见光波段进行光子器件基础研究和设计.通过单模波导以消除模间传输损耗,基于布拉格条件的数值解析和有限元仿真优化设计耦合光栅结构,实现了光栅刻蚀比为0.9、周期为570 nm的峰值损耗为6 dB的单模波导集成型耦合光栅.结果 表明,基于PDMS的芯片光子结构可以实现低损耗波导传输和高效波导光子获取.该工作为PDMS基柔性芯片光子集成器件奠定了理论和设计基础.
PDMS;单模波导;耦合光栅;布拉格条件;柔性光子器件
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TN256(光电子技术、激光技术)
中国博士后科学基金;南京邮电大学自然科学基金资助项目
2022-03-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
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