10.3969/j.issn.1673-5439.2013.05.008
基于微流控技术的新型光衰减器器件设计
采用液体作为光学器件元素,以微流控技术、电磁驱动技术及MOEMS技术相结合,提出一种新颖的可调光衰减器结构.通过电磁驱动装置控制衰减器中微流体的位置,实现光能量的可调衰减.以电磁驱动方式控制衰减器的调节,它的工作电压小、驱动行程大,且控制电路较为简单.该衰减器具有体积小、衰减范围大的特点,有利于光衰减器的集成化、微型化及制作.
可调光衰减器、微流控技术、电磁驱动、MOEMS
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TN256(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金60878037;南京邮电大学科研基金NY208002
2013-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
45-48
