10.13272/j.issn.1671-251x.2016.12.003
双层电阻栅SOI应变计的设计及其在煤矿的应用
设计了一种微熔结构的双层电阻栅SOI应变计,该应变计利用热生长氧化、光刻、刻蚀等工艺方法进行制作,解决了通常SOI应变计体电阻阻值小、易受污染的问题,提高了应变计的精度、绝缘性和工作稳定性.现场试验结果表明,利用该应变计制作的煤矿钻孔应力计测量数据准确,工作稳定可靠,适用于煤岩体应力监测.
煤炭开采、双层电阻栅、SOI应变计、钻孔应力计
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TD355.4(矿山压力与支护)
国家自然科学基金青年基金项目51304115;中国煤炭科工集团科技创新基金重点资助项目2013ZD002;天地科技技术创新基金项目KJ-2015-TDKC-02;天地科技开采青年创新基金项目KJ-2015-TDKC-12.
2017-01-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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