10.3969/j.issn.1674-3229.2022.04.024
Silvaco TCAD仿真在《微电子工艺》实验教学中的应用
为支撑微电子工艺实验课程建设,采用Silvaco TCAD半导体工艺及器件仿真软件,加强学生对微电子工艺中氧化、掺杂、离子注入、光刻等工艺的直观理解,搭建了从网格建设、工艺仿真、PN结分析到NMOS器件全工艺流程设计的系统化仿真实例,让学生在熟悉半导体器件基本结构、载流子参数等性能的同时,深刻理解微电子器件的工艺过程.软件仿真直观的图形展现,既可加深学生课程知识理解,又能提升实践能力,为应用型人才的培养提供坚实基础.
微电子工艺、集成电路、实验课程建设、Silvaco TCAD
22
G420(教学理论)
安徽省教学研究重点项目;线上线下混合式课程;安徽省省级一般教学研究项目;校企合作实践教育基地
2023-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
118-121,128
