10.3969/j.issn.1000-4998.2023.01.018
散射测量原理样机光机分系统的设计
散射测量是一种通过测量周期性标记的散射光特征,使用逆向求解算法获得标记参数的非接触式测量技术.对散射测量原理样机的光机分系统进行了设计,并进行了集成调试.通过所设计的光机分系统,实现了散射测量原理样机对晶元形貌线宽和套刻工艺100 nm级测量,取得了半导体检测领域的重大突破.
散射测量、原理样机、光机分系统、设计
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TH741(仪器、仪表)
2023-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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