10.3969/j.issn.1000-4998.2018.04.009
菲佐干涉仪移相器的结构优化设计
介绍了菲佐干涉仪在干涉检验领域的主要用途及干涉仪中移相器的工作原理.根据工作原理,基于压电陶瓷驱动和双柔性四连杆传动,设计了一种移相器结构,压电陶瓷与四连杆以并联形式装配.对双柔性四连杆的铰链参数进行了优化设计,用于提高移相器的固有频率,进而提高其动态特性和抗干扰能力.通过计算机对移相器进行有限元仿真分析,确认了优化设计的有效性.
菲佐干涉仪、移相器、设计、有限元
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TH122
2018-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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