10.3969/j.issn.1000-4998.2016.07.033
一种等离子体刻蚀机预装腔的设计
为满足高效连续自动化的工业化生产需求,对等离子体刻蚀机的预装腔进行设计改进,改进后的预装腔可实现≥2盘晶片的连续自动化刻蚀,提高了生产效率.
等离子体刻蚀机、预装腔、自动化、效率
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TH122
2016-09-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
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等离子体刻蚀机、预装腔、自动化、效率
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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