10.3969/j.issn.1000-4998.2015.04.008
全自动晶圆电镀系统软件开发
根据客户需求自主开发全自动晶圆电镀设备,研究了基于LabVIEW模块化控制系统的设计,完成了多线程协调控制以及多线程间数据交换技术,实现了对晶圆自动化电镀设备的协调控制,达到预期设计的目的.
LabVIEW、多线程、晶圆、电镀
53
TH165
2015-05-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
22-25
10.3969/j.issn.1000-4998.2015.04.008
LabVIEW、多线程、晶圆、电镀
53
TH165
2015-05-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
22-25
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn