10.3969/j.issn.1000-4998.2012.05.025
硅片磨削砂轮的新进展
在硅片制造过程中,磨削加工已经成为非常重要的工艺手段.随着对硅片加工高质量、低成本要求的不断提高,对加工中所使用的磨削砂轮要求其具有低磨削表面损伤、良好的自锐能力、保持一致性、长寿命和低成本等性能.对硅片磨削砂轮近年来的技术进行了回顾,论述了为满足这些严格要求,在硅片磨削砂轮的磨料、结合剂材料、孔隙生成以及几何设计方面的进展.
硅片、磨削、砂轮、金刚石磨料
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TG58(金属切削加工及机床)
2012-07-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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