10.3969/j.issn.1000-4998.2011.02.007
基于FUZZY理论的蓝宝石超精密研磨参数优化方法
运用模糊理论探求蓝宝石晶圆研磨工艺参数与表面质量参数间的关系,获得优化参数以提高蓝宝石的超精密研磨加工效率和较高的表面质量.对蓝宝石的研磨工艺参数构建了三角形模糊逻辑模型,筛选出2组研磨优化参数组.通过实验结果表明,模糊算法获得的优化参数能提高蓝宝石的加工效率,改善研磨加工的表面质量.
蓝宝石、研磨参数、隶属函数、模糊优化
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TG580.68(金属切削加工及机床)
2011-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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