10.3969/j.issn.1000-4998.2009.10.016
晶圆热氮烘干系统的设计与研究
设计并研制了一套用于晶圆表面干燥的烘干工艺系统,详细介绍了系统的工作原理及其结构组成.经过实验和用户使用证明,该系统能够满足半导体企业对晶圆表面的一般烘干要求.系统具有操作简便、价格低廉、占用空间少等特点.
晶圆干燥、热氮烘干、干燥系统
47
TH122;TH705
2009-12-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
43-45
10.3969/j.issn.1000-4998.2009.10.016
晶圆干燥、热氮烘干、干燥系统
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TH122;TH705
2009-12-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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