10.3969/j.issn.1000-4998.2009.04.025
基于在线检测的曲面光学零件加工技术
提出了一种基于在线面形检测与补偿加工相结合的光学曲面零件的超精密加工方法,在线面形检测系统由空气静压浮动探针和光纤式激光干涉位移计构成.利用该加工方法实际加工了一个光学球面零件,其综合面形精度达到了P-V值0.41 μm.
曲面、光学零件、在线检测、补偿加工
47
TH161
教育部留学回国人员科研启动基金资助项目教外司留[2007]24号
2009-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
70-72
