10.3969/j.issn.1000-4998.2009.03.009
铰链四杆单面抛光机构运动轨迹的仿真研究
针对解析法研究研磨轨迹存在建立数学方程烦琐,参数变化后需反复求解和重新模拟轨迹等问题,提出了采用虚拟样机技术研究轨迹的方法.以铰链四杆单面抛光机构为研究对象,运用ADAMS软件实现了晶片单面抛光的运动轨迹仿真.结果表明,使用虚拟样机技术能够快速、准确地获得铰链四杆单面抛光机构驱动下晶片质心的运动轨迹,并且轨迹形状主要由机构输入的运动参数决定.
虚拟样机、ADAMS、轨迹仿真
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TH133.5;TG580.699
衢州市科技计划项目20061038
2009-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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