10.3969/j.issn.1000-4998.2006.06.022
高精度智能三维轮廓测量仪
介绍了基于国产6JA干涉显微镜的智能三维轮廓测量仪.仪器的垂直测量范围达80μm,垂直分辨率达1 nm;仪器可用于多种材料、多种形状的轮廓测量,只需几秒钟即可完成一个取样表面的二维和三维自动测量与评定.给出了对标准样板的测量结果,实验表明仪器总测量误差小于5%.
干涉显微镜、三维轮廓测量、白光扫描干涉术
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TH741.3(仪器、仪表)
国家自然科学基金50175037
2006-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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