10.3969/j.issn.1000-4998.2005.10.021
超精密机床激光干涉测量系统误差分析及补偿
详细分析了超精密机床加工中,激光测量系统误差组成及其产生机理,给出了有效的修正和补偿手段.影响激光测量系统精度和重复精度的主要误差因素可分为3类:内部误差、环境误差和安装误差.通过实例分析精密机床四轴激光测量系统,设计出了四轴激光测量光路,实现超精密工作台的X、Y、Rz三自由度位置反馈,给出了影响测量精度的误差因素以及对系统精度的影响大小.
激光测量、误差补偿、定位精度、测量精度
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TG502.13;P225.2(金属切削加工及机床)
2005-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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