10.3969/j.issn.1000-4998.2004.03.015
声表面波直线型电机小型化的研究
随着微机电系统(MEMS)和声表面波技术的不断发展,设计和制造小型(微型)声表面波直线型电机成为必然的趋势.文章介绍了一种以铌酸锂/石英/硅层状结构作为压电基片,可以加工出体积足够小、理论上行程不受限制、实现二维运动的新样式电机.
声表面波速度、机电耦合系数、压电材料、声表面波直线型电机
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TM303(电机)
2004-04-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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