晶圆探针卡的分类及设计参数
晶圆探针卡是半导体在制造晶圆阶段的重要测试分析接口,通过连接测试机和芯片传输信号对芯片参数进行测试。本文在介绍探针卡定义及分类基础上,详细说明探针卡的主要设计参数。
悬臂探针卡、垂直探针卡、分类、设计参数
TP3;TN3
2014-03-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共1页
174-174
悬臂探针卡、垂直探针卡、分类、设计参数
TP3;TN3
2014-03-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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