10.3969/j.issn.1004-7530.2019.27.011
化学气相沉积反应器共振问题研究与改善
在生产过程中,化学气相沉积反应器内托负衬底的托盘由马达带动,按设定的转速以托盘中心为轴进行旋转,反应器会在马达和托盘达到某一转速附近时发生剧烈振动,即共振.生产过程中反应器的共振直接影响了衬底上沉积的薄膜质量.文章通过分析和试验,以调整地脚着地力来避开关键工艺转速时产生的共振,以减少产品报废,提高设备寿命.
化学气相沉积、托盘、旋转、共振
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TQ(化学工业)
2019-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
42-44,70
