10.3969/j.issn.1000-386X.2008.05.061
VC++实现电子束曝光专用数据格式文件
电子束曝光数据格式是针对电子束曝光系统设计的、可被曝光机直接识别的一种专用电子束曝光图形数据格式.利用VC+ +开发环境实现了该格式文件的创建,主要包括曝光版图的图形绘制、属性设置、结构体引用以及文件保存.实验结果表明,利用此软件可创建满足各种需求的曝光版图文件,从而便于进行电子束曝光的相关实验.
图形文件格式、VC++、图形绘制、电子束曝光
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TP3;TN4
中国科学院知识创新工程重大项目资助KGCXI-Y-8
2008-07-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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