10.3969/j.issn.1000-1158.2023.01.06
基于音叉式AFM测量的软件控制研究
基于音叉式原子力显微镜(AFM)的基本原理,设计了一个幅度调制模式下的测量控制系统,该控制系统的主要实现功能为针尖接近、针尖工作点位置保持和样品的表面形貌测量.实验得到针尖在不同激励电压下的接近曲线,针尖分别在100 mV、200 mV、500 mV、1 V激励下,工作区间大小为4.7 nm、8.5 nm、12.1 nm、15.7 nm,灵敏度分别为0.0423 V/nm、0.0564 V/nm、0.0861 V/nm、0.0831 V/nm.实验得到针尖工作点位置保持过程中的纳米位移台位置变化曲线,针尖工作点的正向偏移值为2.3 nm,负向偏移值为1.3 nm.表面形貌测量采用X轴双向扫描模式,即在纳米位移台于X轴方向上的往返过程中分别测量1次表面形貌数据,对正向扫描和反向扫描的数据进行计算处理;正向扫描的间距误差为5.2 nm,高度误差为0.3 nm,反向扫描的间距误差为6.4 nm,高度误差为0.5 nm.
计量学、表面形貌、原子力显微镜、音叉探针、软件控制系统
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TB92(计量学)
国家重点研发计划;国家重点研发计划
2023-03-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
35-40
