10.3969/j.issn.1000-1158.2022.04.05
基于FDTD仿真的高增益拉曼镀金针尖的可重复准确制备
提出一种可适用于针尖增强拉曼系统(TERS)的基于时域有限差分法(FDTD)的高增益拉曼针尖及其制备方法.在汇聚光条件下,仿真分析镀Au厚度为5～100 nm,中间过渡层材料分别为5 nm的Si02,Ta205,Ti,Cu的内凹型W针尖,在Au基底金半球样品处的近场电场分布情况.仿真结果表明:50nm镀金厚度,Ti,Cu为中间层的针尖具有更强的增强效果.在此基础上通过磁控溅射,设定镀Ti时间7 s,镀Au时间120 s,成功制备出所设计的高增益针尖,通过聚焦离子束(FIB)沿轴向切割针尖并借助扫描电镜(SEM)观察针尖剖面结构,验证该镀膜针尖的尺寸形状等结构参数达到设计要求.经4批次,每批次20根针尖进行重复镀膜实验,从而证明所设计的针尖稳定可重复准确制备.
计量学、针尖增强拉曼系统、时域有限差分法、镀金、钨针尖
43
TB92(计量学)
国家重点研发计划;国家重点研发计划
2022-05-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
464-469
