10.3969/j.issn.1000-1158.2022.04.03
微纳米三坐标测量机三轴垂直度误差测量及建模补偿
垂直度误差是微纳米三坐标测量机的重要误差源之一,必须对其进行高精度测量并建立垂直度误差的补偿模型.采用基于光电位置敏感器件(PSD)的测量装置,先将三轴垂直度误差转化成相应方向的直线度误差再对其进行测量,并对微纳米三坐标测量机的垂直度误差进行建模和补偿.通过对0级标准量块厚度进行测量和垂直度误差补偿,量块X、Y方向厚度测量误差分别减小了 11 μm和4 μm,验证了垂直度误差测量方法和补偿模型的有效性.
计量学、微纳米三坐标测量机、垂直度误差、建模补偿
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TB92(计量学)
国家重点研发计划2019YFB2004900
2022-05-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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