10.3969/j.issn.1000-1158.2019.04.02
扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法
扫描探针显微镜(SPM)是微纳结构三维测量中的一项重要技术.然而,在测量过程中台阶或沟槽样品的边缘附近会出现不准确的轮廓,这就造成了深度测量的精度损失.为了避免深度测量的精度损失,分别建立了机械探针和光学探针的两个分析模型,描述了不准确轮廓、样品深度和探针形状之间的耦合关系;在此基础上,提出了一种具有良好精度的深度测量标定方法.与现有的国际深度测量标准(W/3规则)进行比较,该方法提供了一个明确的边界来确定测量结果是否有效;此外,它还可以指导用户在执行测量之前选择适当的探针.
计量学、深度测量、微纳结构、扫描探针显微镜
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TB92(计量学)
国家自然科学基金51775148;装备预研领域基金6140923020102;黑龙江省杰出青年科学家基金JC2017013
2019-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共8页
549-556
