10.3969/j.issn.1000-1158.2019.02.02
一种可溯源原子力探针显微镜
研制了一种基于白光干涉的可溯源原子力探针扫描显微镜,提出了一种稳健的白光干涉零级条纹定位算法,建立了一套高分辨激光干涉位移测量系统.在此基础上提出了一种探针标定方法,实现微纳表面可溯源测量.通过对台阶高度为(21.4± 1.5)nm的标准光栅进行10次重复测量,其结果的平均值为21.56 nm,标准差为0.51 nm;同时对高度为150 nm的三维特征样件进行了三维测量,验证了所研制仪器测量的准确性和稳定性.
计量学、原子力显微镜、探针标定、可溯源、白光干涉
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TB92(计量学)
国家自然科学基金51475192
2019-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
183-188
