10.3969/j.issn.1000-1158.2018.05.01
Cu/Ti纳米薄膜表面形貌的分形表征研究
采用磁控溅射法制备了不同组分和厚度的Cu/Ti薄膜,采用原子力显微镜(AFM)测量了其表面形貌,利用功率谱法对AFM高度图像进行了分形表征.结果表明:Cu/Ti薄膜表面形貌具有多尺度行为,表面演化在全域和局域呈现出不同的标度行为;AFM图像功率谱的高频段直接体现了薄膜表面的细节信息,而低频段体现了薄膜表面背景区域的复杂程度;低频分形维数与粗糙度之间有着必然的联系,能够反应粗糙值Rs的变化趋势.
计量学、纳米薄膜、分形表征、表面形貌、功率谱
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TB921(计量学)
国家自然科学基金51608437,51505368;973项目2015CB057402;中国博士后基金2017M613114;陕西省博士后基金2017BSHEDZZ69;西安通大学基本科研业务费xjj2016011;数字制造装备与技术国家重点实验室华中科技大学开放课题DMETKF2016006;流体动力与机电系统国家重点实验室浙江大学开放基金GZKF-201617
2018-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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