10.3969/j.issn.1000-1158.2012.06.03
基于多电容传感大型主轴圆度的精密测量
为解决大型轴类零件圆度形状的高精度在线测量问题,研究了一种基于多电容传感、非接触式圆度形状测量系统,可现场测量直径达800 mm的精密主轴.介绍了大直径精密回转工作台的主轴圆度形状测量方法,分析了多测头三点法的误差分离技术,详细阐述了精密电容传感器的测量原理和系统的结构及数据评价方法.与高精度的圆度形状测量仪比较的实验结果表明,该测量系统的示值误差优于0.1 μm,重复性优于0.05 μm,能够满足现场测量要求.
计量学、圆度测量、电容传感器、大型主轴、误差分离技术
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TB92(计量学)
国家重大科技专项资助项目2009ZX04011-042
2013-01-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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490-493
