10.3969/j.issn.1000-1158.2012.06.02
AFM线宽测量不确定度的分析与评定
详细分析了P47型原子力显微镜线宽测量不确定度的来源,给出了基于几何形状的线宽测量模型,提出了线宽测量不确定度的评定路线和方法.确定了探针针尖引起的测量不确定度是AFM线宽测量不确定度的主要来源,并对其进行了定量分析.普通Si3N4探针针尖引起的不确定度分量约占线宽总量的5%.
计量学、原子力显微镜、线宽、测量不确定度
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TB92(计量学)
国家自然科学基金90923001;福建省教育厅项目JA11031;福州大学人才基金022319
2013-01-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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