10.3969/j.issn.1000-1158.2009.z1.049
接触式定位控制传感器的研究
介绍了一种高精度接触式电感定位传感器,它集光机电技术于一体.传感器测头接触到被测表面后,当接触测量力达到设定值时,测头发出准确的定位信号.对传感器进行了定位重复性测量,其3倍标准偏差<5 nm.
计量学、定位传感器、接触测量、电感、干涉仪
30
TB92(计量学)
2010-01-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
189-191
10.3969/j.issn.1000-1158.2009.z1.049
计量学、定位传感器、接触测量、电感、干涉仪
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TB92(计量学)
2010-01-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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