10.3969/j.issn.1000-1158.2009.z1.032
计量型原子力显微镜环境温度的测控
在纳米结构的检测与表征领域中,温度是影响纳米尺度测量精度的重要误差源.为此,根据测量材料的热物性和空气折射率与光学测量的关系,以计量型原子力显微镜和大范围纳米测量机为例,首先通过设计高精度多点测温系统进行精密的温度测量,分析估计在扫描测量纳米结构过程中温度变化对其测量结果的影响.其次对纳米测昔中温度测量的相关技术问题进行了研究,以保证纳米表征和检测在纳米尺度及其量值上的准确性.
计量学、温度测量、原子力显微镜、纳米测量机、测量不确定度
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TB92(计量学)
2010-01-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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