10.3969/j.issn.1000-1158.2009.z1.020
移相干涉技术在活塞外径测量中应用
基于传统接触式测长仪器存在不足,通过对长度干涉仪测量原理方法的分析研究,提出采用移相干涉技术进行瞄准定位的方法,并应用在活塞外径测量系统中.通过实验验证:采用双移相干涉测头结构的活塞外径测量系统,对活塞表面瞄准定位的重复性较好,活塞外径系统测量不确定度达到0.1μm,移相干涉在高精度基准活塞外径测量中成功应用,具有较好的推广价值.
计量学、移相、干涉仪、活塞、直径
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TB92(计量学)
2010-01-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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