10.3969/j.issn.1000-1158.2009.z1.010
激光二坐标测量装置显微视觉关键技术的研究
为满足二维线纹标准器高精度检测需求,研究了激光二坐标测量装置的显微视觉系统关键技术.分析了激光二坐标测最装置的工作原理和显微视觉硬件系统的构成,提出了一种基于方向链码的边缘特征点跟踪提取算法,实现了图像边缘快速精确提取,建立了两坐标系间的修正模型,提高了测量精度.实验验证二维线纹标准器线间距和线宽测量重复性的2倍标准差小于10 nm.
计量学、激光二坐标测量装置、显微视觉、二维线纹标准器、方向链码、线间距
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TB92(计量学)
中国计量科学研究院博士科研专项启动基金AKYB0704
2010-01-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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