10.3321/j.issn:1000-1158.2004.04.006
基于时域傅里叶变换的波长移相算法
基于傅里叶变换的波长移相算法,是基于时域傅里叶变换和差分技术来实现干涉图处理.这种算法主要用于实现较粗糙轮廓或台阶件的光学检测.介绍了该算法的中心思想,指出了已有的Takeda算法的缺点,提出了改进算法.叙述了新算法的实现过程并进行了误差分析,最后给出了实验结果.
计量学、移相算法、波长移相干涉技术、离散傅里叶变换
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TB96(计量学)
上海市青年科技启明星计划01QA14021
2005-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
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