10.3321/j.issn:1000-1158.2004.01.002
纳米样板的制备及其精度分析
介绍了纳米样板的研究现状及制备工艺,特别对扫描探针显微镜(SPM)表面局域氧化反应工艺进行了详述;分析了原子力显微镜(AFM)探针诱导局域氧化工艺的原理及其影响参数,原理为高度局域化的电化学反应,影响参数包括探针上所施加的电压、扫描速度、探针曲率半径、相对湿度以及氧化物厚度等;用该方法分别制备了5条栅线和7条栅线的一维纳米结构样板,并对7条栅线的纳米结构样板的精度和不确定度影响因素进行了分析.
计量学、原子力显微镜、纳米样板、探针诱导阳极氧化、线宽、直线度、平行度、不确定度
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TB92(计量学)
高等院校骨干教师基金;高等学校博士学科点专项科研项目1999069821
2004-03-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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6-10,42