10.3321/j.issn:1000-1158.2003.02.001
纳米、亚微米标准样板及SPM量值溯源
微电子及纳米技术的发展,对纳米、亚微米尺寸计量及仪器的量值溯源的要求越来越高.文中就建立这一量值溯源体系进行探讨,包括:样板的研制、测量及比对、由仪器和测量方法引起差异的分析等,表明了建立纳米、亚微米尺寸计量量值溯源体系的重要性.
计量学、纳米、亚微米、溯源系统、标准样板、扫描探针显微镜
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TB92(计量学)
国家自然科学基金59735120
2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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