10.3969/j.issn.1009-9042.2007.09.023
半导体材料在传感器中的应用
Sio2薄膜是一种新型的、性能优良的半导体材料.本文主要介绍Sio2薄膜在各种传感器中的应用,并对该材料的发展趋势进行展望.
半导体材料、传感器、应用
23
TN304.055(半导体技术)
2008-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共2页
63-64
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10.3969/j.issn.1009-9042.2007.09.023
半导体材料、传感器、应用
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TN304.055(半导体技术)
2008-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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