10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.01.009
全光纤声光调制径向跳动差分测量技术研究
为了实现机床在加工状态下主轴径向跳动非接触、高精度的测量,采用光外差法光路的激光多普勒差分检测方法,进行了理论分析和实验验证.直接耦合和透镜耦合的全光纤光路的应用,降低了布喇格衍射光路的调节难度,提高了测量分辨率和抗干扰能力,减小了噪声;光纤分光器实现了同一轴线上的差分测量,抑制了因测量光路本身的振动带来的干扰.得到了相对误差为0.0838％的主轴径向跳动测量结果,实现了纳米级跳动误差测量.结果表明,系统的相对误差和测量不确定度均小于0.1％.该研究对主轴径向跳动的实时测量有一定的指导意义.
激光技术、全光纤光路、声光调制、差分测量、不确定度
44
TN247(光电子技术、激光技术)
2020-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
50-53
