10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.03.013
SOI纳米光波导表面粗糙度的研究进展
SOI纳米光波导表面粗糙度会显著增加波导散射损耗,降低表面粗糙度是其在许多方面应用中亟待解决的关键问题之一.首先介绍了表面粗糙度概念,总结了表面散射损耗理论方面的研究进展.随后回顾了多种SOI纳米光波导表面粗糙度测量方法,以及在表面形貌表征中存在的问题.此外,还对几种波导表面光滑工艺进行介绍,并结合具体的工作对光波导表面粗糙度各方面研究进展进行了总结.
集成光学、光波导、表面粗糙度、散射损耗
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TN252(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金资助项目61471255,61474079,61501316,51505324;国家八六三高技术研究发展计划资助项目2015AA042601;教育部博士点基金资助项目20131402110013;山西省青年基金资助项目2014021023-3
2017-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共9页
367-375
