10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.01.005
基于两步相移干涉的微表面形貌检测系统
为了精确稳定地测量物体微表面形貌,设计了一种基于改进迈克尔逊结构的空间两步相移干涉系统. 该系统在泰曼-格林偏振干涉仪的基础之上,使用改进的迈克尔逊结构实现分光,采用偏振方向分别为0 °和45 °的两偏振片作为相移器件,在单个CCD相机中同时记录两幅具有90°相移的干涉图像,然后由离散希尔伯特变换法提取相位,获取物体表面形貌信息. 搭建了两步相移干涉光路,并通过对玻璃平板表面的检测,验证了该系统的可行性. 结果表明,在实验室环境下系统重复测量结果的均方根误差小于0 .02λ,在实际微表面测量中具有良好的稳定性.
测量与计量、空间相移干涉、迈克尔逊结构、希尔伯特变换、测量重复性
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TN247(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金资助项目61275009;高等学校博士点基金资助项目20110032120059
2016-01-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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