10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.06.026
氧化锌薄膜的光学相干层析检测方法研究
为了实现对氧化锌薄膜的厚度测量，采用光学相干层析成像的方法进行了理论分析和实验验证，获得了含厚度信息的1维深度图像和含内部结构信息的2维层析图像。结果表明，该方法测得的薄膜厚度值与理论值一致。该研究说明谱域光学相干层析成像技术的测量结果真实有效，可以用于薄膜的厚度测量和质量检测。
测量与计量、薄膜、检测、光学相干层析成像
TN247(光电子技术、激光技术)
陕西省军民融合研究基金资助项目13JMR18；陕西省教育厅科学研究计划资助项目12 JK0672；陕西省科技厅国际交流合作资助项目2013KW04-03
2014-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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