10.3969/j.issn.1001-3806.2010.06.002
CO2激光等离子体极紫外光源收集镜研究
为了研究极紫外光源系统中收集镜的形状和液体微滴的漂移,计算了收集镜的参量,并采用ZEMAX模拟了液体微滴上下和左右漂移50μm,100μm,150μm时中间焦点的成像变化情况.结果表明,液体微滴在上下方向上的漂移对中间焦点成像的影响很大,应该尽量将上下漂移控制在20μm以下;而液滴在光轴方向上的漂移对中间焦点成像的影响稍小.
激光技术、X射线光学、极紫外光源、激光等离子体、收集镜、ZEMAX
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TN249(光电子技术、激光技术)
国家科技重大专项基金
2011-01-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
725-728
